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四氟化碳  首页 > 产品中心 > 四氟化碳
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作为电子工业中等离子蚀刻工艺中常用的工作气体,是二氧化硅、氮化硅等薄膜的等离子蚀刻剂。也用于液光气体和低温制冷剂。

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